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主题:矽晶片清洗腐蚀机
作者:anjian 发表于:2008-4-26 17:27:04 [回复] [引用]

矽晶片清洗腐蚀机

型号:CGB-XXXX—XX系列,品牌:华林嘉业—CGB产品可去除工件表面的油污及其他有机物、除胶、去金属离子等。 1.设备由五大部分组成:清洗槽部分、伺服系统及机械臂部分、层流净化系统、电气控制系统、机架及整机。 2.清洗槽部分由有机溶剂槽、去离子水槽、酸槽或碱槽等组成。 3.关键件采用进口件,包括气动阀,PFA管道,全氟循环系统,保证工作介质(酸、碱)的洁净度,避免杂质析出。 4.工艺过程全自动,机械手在槽间的转换由两套伺服系统控制,可存储多条工艺时序,方便使用。 5.人机界面为触摸屏,方便直观。 6.除装片和取片需人工外,其余工艺动作均可自动完。有需求此方面设备的朋友,欢迎来电咨询:010-83270202/ /52112455//13910297918/耿彪。本公司律师顾问团郑重声明:依据国家有关法律,在中华人民共和国范围内,北京华林嘉业科技有限公司是唯一拥有对有关“华林嘉业”字样名称及商标等专用权的合法性公司,任何个人机构不得擅自使用。

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