供应半导体器件设备-硅片显影定影设备
所 在 地: 北京市
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发布日期: 2008年3月24日
有 效 期: 不限期
联 系 人: 耿彪
公 司 名: 北京华林嘉业科技有限公司
企业类型: 其他有限责任公司
经营模式: 生产型
电  话: 010-83270202
移动电话: 13910297918
传  真: 没有提供
地  址: 北京市通州区宋庄
邮  编: 101118
公司网站: http://www.hualinjiaye.com
产品说明    发布信息
半导体器件设备-硅片显影定影设备
全自动显影机型号:CGB-XXXX—XX系列,品牌:华林嘉业—CGB 1.概述:本设备可用于半导体工艺中对2″~8″硅片进行显影和定影,该产品技术先进、一致性强,适用于规模生产。 2.整台设备材料均为进口。 3.本设备为双排槽构成,每排7槽,各设一套机械手,两排可同时完成相应的工序。 4.本设备除装片和取片需人工外,其余工艺动作均可自动完成。 5.每槽装片能力:50片/批(2花篮,25片/花篮)。 6.工作区洁净度:100级。 7.槽间工艺转换时间:Tm ax≤3.5S
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